一般来说，此术语表示齿轮啮合部分的齿与齿的间隙，但是SMC摆动气缸却将摆动端输出轴的旋转方向游隙叫做齿隙。单齿轮齿条型（CRA1系列）在摆动端输出轴上产生齿隙。必要时请安装外部止动器。

SMC双活塞型（CRQ,MSQ系列）在输出轴上不产生齿隙。因为一方活塞碰到止动器后停止时，会空出另一方活塞进一步移动的空间，在主动齿轮上作用1根活塞的力，齿隙被吸收。但是，摆动端的保持力矩为有效力矩的一半。
（微型摆动CRJ系列，采用了即便是单齿条型也不会在摆动端产生齿隙的结构）